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       2015年3月27日10時(shí)58分，由北方微電子公司自主研發(fā)的12英寸28納米NMC612系列高密度等離子硅刻蝕機(jī)正式安裝，再次進(jìn)入國(guó)內(nèi)最先進(jìn)的集成電路芯片代工企業(yè)——中芯國(guó)際，進(jìn)一步加快了集成電路高端微電子裝備的國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程。

       北方微電子研制的NMC612系列28nm高密度等離子硅刻蝕機(jī)于2012年9月進(jìn)入中芯國(guó)際上海廠，與客戶TD部門同步進(jìn)行28nm工藝開發(fā)，工藝結(jié)果達(dá)到生產(chǎn)線技術(shù)要求，通過(guò)中芯國(guó)際生產(chǎn)線全流程工藝驗(yàn)證。同時(shí)，北方微電子NMC612系列55nm刻蝕機(jī)也在中芯國(guó)際北京廠批量生產(chǎn)，設(shè)備無(wú)論在工藝性能還是在穩(wěn)定性方面均滿足國(guó)際大生產(chǎn)線的要求。 2015年3月，NMC612C 28nm高密度等離子硅刻蝕機(jī)正式進(jìn)入中芯國(guó)際北京廠，成為了國(guó)內(nèi)首臺(tái)進(jìn)入主流大生產(chǎn)線的28nm硅刻蝕機(jī)。

       28nm集成電路制造技術(shù)是目前國(guó)內(nèi)最先進(jìn)的半導(dǎo)體工藝制造技術(shù)，作為中國(guó)自主開發(fā)集成電路高端制造裝備的先行者，北方微電子28納米等離子硅刻蝕機(jī)，突破了精密等離子體控制、硅片表面溫度精確控制、高氣流均勻控制等多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，以全新的硬件設(shè)計(jì)達(dá)到了高速率、高均勻性、低損傷和低缺陷、精確尺寸和形貌控制、低顆粒污染等要求，多項(xiàng)關(guān)鍵指標(biāo)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。除此之外，設(shè)備還具有高的Throughput、低CoO和CoC等特點(diǎn)，給客戶廣闊的優(yōu)化空間。

       北方微電子是一家專注于高端半導(dǎo)體裝備研發(fā)與市場(chǎng)化的高新技術(shù)企業(yè)，通過(guò)國(guó)家專項(xiàng)的實(shí)施和北方微電子的不斷耕耘，在集成電路產(chǎn)業(yè)成績(jī)卓著。北方微電子開發(fā)的刻蝕、PVD和CVD高端裝備，都以其優(yōu)異的工藝性能、低的設(shè)備擁有成本及完善的客戶服務(wù)打破了國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備商長(zhǎng)期的寡頭壟斷，并獲得了客戶的高度好評(píng)。北方微電子將通過(guò)不斷地技術(shù)創(chuàng)新，與集成電路芯片企業(yè)協(xié)同發(fā)展，共同迎接集成電路國(guó)產(chǎn)化大時(shí)代!