【中國半導(dǎo)體照明網(wǎng)譯】威科儀器公司是世界領(lǐng)先的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積（MOCVD）系統(tǒng)的供應(yīng)商。該公司今日宣布與比利時納米電子研究中心IMEC已簽署了一項(xiàng)聯(lián)合開發(fā)項(xiàng)目（JDP）協(xié)議。此次合作有望加快氮化鎵基的高效發(fā)展，利用威科的MOCVD系統(tǒng)推動創(chuàng)建使用氮化鎵外延片的電力電子設(shè)備。
IMEC已經(jīng)證明：氮化鎵層均勻性的顯著提高和威科推進(jìn)系統(tǒng)的運(yùn)行重復(fù)性大大提高了發(fā)電設(shè)備產(chǎn)量。單個晶片反應(yīng)器采用威科公司專有的TurboDisc技術(shù)，該技術(shù)能提供卓越的膜均勻性，良好的運(yùn)行控制和比批處理反應(yīng)堆更優(yōu)的缺陷水平。
IMEC智能系統(tǒng)和能源技術(shù)的高級副總裁Rudi Cartuyvels說：“在與硅基氮化鎵相關(guān)的產(chǎn)業(yè)框架中，在過去的四年間，威科和IMEC合力提高硅襯底氮化鎵外延片的質(zhì)量。我們的最終目標(biāo)是生產(chǎn)下一代高功率開關(guān)器件。2016年我們已經(jīng)設(shè)定了非常高的氮化鎵器件產(chǎn)量和可靠性目標(biāo)，我們期待著與威科公司實(shí)現(xiàn)這些目標(biāo)。”
IHS的研究表明產(chǎn)業(yè)需求日益增長，需要更小、更節(jié)能的電源ICs。這一點(diǎn)，反過來，推動使用先進(jìn)的材料來改進(jìn)功率器件。硅基氮化鎵加上完善的工藝方案，如單晶氮化鎵 MOCVD是改進(jìn)這些功率器件發(fā)展的關(guān)鍵。
威科MOCVD運(yùn)營的高級副總裁兼總經(jīng)理吉姆·簡森說：“我們非常高興與IMEC合作。全球?qū)Ω咝堋⑿⊥庑我蛩?，?qiáng)可靠性的先進(jìn)電力電子產(chǎn)品的需求量越來越大。我們相信，我們推動單晶片系統(tǒng)的技術(shù)將使IMEC實(shí)現(xiàn)功率器件的目標(biāo)，有助于使這些先進(jìn)的設(shè)備加速進(jìn)入市場。”
（杜春曉 譯）
