北京中科優(yōu)唯科技有限公司(以下簡稱“中科優(yōu)唯”)是在與中國科學院半導體研究所合作基礎上于2015年2月組建的高新技術企業(yè),專注于深紫外(300nm以下)LED的產(chǎn)業(yè)化。針對深紫外氮化物外延生長設備、深紫外LED的外延工藝和器件工藝,為客戶提供能夠充分發(fā)揮深紫外LED性能的材料和器件。
近日,該公司宣布在深紫外UV設備和工藝方面取得突破性進展。
據(jù)悉,中科優(yōu)唯研發(fā)出的專門用于深紫外LED的7片機和48片機型,生長溫度高達1400℃以上,加熱絲具有很好的壽命;生長壓力30torr到常壓連續(xù)可調(diào);頂盤實現(xiàn)水冷噴淋式均勻進氣,均勻性優(yōu)于1%,有限元仿真模擬熱場、流場可滿足客戶需求。
其開發(fā)出的深紫外LED基礎材料AlN緩沖層的基礎工藝生長速率為1um/h時,在7片機和48片機上獲得滿足深紫外LED生長的XRD搖擺曲線半高寬,(002)最低達到30弧秒,(102)已小于500弧秒。
其初步制作的280nm附近深紫外LED已實現(xiàn)電注入發(fā)光,發(fā)光功率大于1mw。
“從目前進展來看,我們有望實現(xiàn)批量設備上280nm以下深紫外LED的材料生長,并結合器件工藝實現(xiàn)規(guī)模化深紫外LED的技術突破,為深紫外LED降低成本,規(guī)模應用解決生產(chǎn)設備和成套工藝的技術瓶頸。”公司高管對記者表示。
目前紫外LED光源主要用于紫外光固化、防偽檢測、醫(yī)學光照、熒光分析、藥物研發(fā)、空氣和水凈化等領域。
“未來白色家電將是使用深紫外LED消毒應用的一大新領域,電冰箱、洗衣機、空調(diào)機、空氣凈化器、飲水機等產(chǎn)品都有使用小型消毒器的需求,各大廠家都在尋找適合的產(chǎn)品,紫外LED具有體積小、設計方便、沒有污染等特點,十分適合在白色家電中應用。”公司高管告訴記者。
2014年,我國電冰箱、洗衣機、空調(diào)、空氣凈化器、飲水機的產(chǎn)品分別為8796萬臺、7114萬臺、14463萬臺、1025萬臺和1785萬臺,合計33,183萬臺。“如果每臺產(chǎn)品增加紫外LED消毒功能,成本僅僅增加50-100元,家電廠家是非常樂于接受的。這樣,全國白色家電領域可增加150-300億的紫外LED消毒產(chǎn)品市場,全球白家電可增加300-600億人民幣的紫外LED消毒產(chǎn)品市場。”該高管說。
“中科優(yōu)唯將以目前所具有的高溫氮化物MOCVD的研發(fā)及生產(chǎn)技術、深紫外LED外延芯片的加工工藝為基礎,進行深紫外 UV LED外延芯片的產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn),通過不斷提高產(chǎn)量和降低市場售價逐步打開深紫外LED消毒模塊在白色家電領域的應用,擴大公司的市場規(guī)模。”該高管表示。