9月10日,在2017中國(guó)(上海)國(guó)際傳感器技術(shù)與應(yīng)用展覽會(huì)開(kāi)幕式暨2017全球傳感器與物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)峰會(huì)上,中國(guó)科協(xié)副主席、中國(guó)科學(xué)院院士王曦,工信部原副部長(zhǎng)楊學(xué)山,市科委主任壽子琪、副主任干頻,嘉定區(qū)委書(shū)記馬春雷,國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金總經(jīng)理、中國(guó)高端芯片聯(lián)盟理事長(zhǎng)丁文武,工信部電子司副司長(zhǎng)吳勝武共同啟動(dòng)上海微技術(shù)工業(yè)研究院(以下簡(jiǎn)稱“工研院”)“超越摩爾”研發(fā)中試線,標(biāo)志著國(guó)內(nèi)首條、全球領(lǐng)先、兼容CMOS(互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體)的8英寸研發(fā)中試線在上海正式投入運(yùn)營(yíng),旨在推動(dòng)我國(guó)“超越摩爾”技術(shù)和物聯(lián)網(wǎng)創(chuàng)新應(yīng)用快速發(fā)展、引領(lǐng)全球。

目前,在“超越摩爾”領(lǐng)域,業(yè)界普遍使用6英寸產(chǎn)線,貫通從研發(fā)到量產(chǎn)全程服務(wù)的8英寸產(chǎn)線是公認(rèn)的領(lǐng)先技術(shù)。8英寸“超越摩爾”研發(fā)中試線落地上海嘉定工業(yè)區(qū)、近5000平方米的高等級(jí)微納加工超凈廠房?jī)?nèi),將專(zhuān)注于“超越摩爾”傳感器產(chǎn)品技術(shù)的開(kāi)發(fā),可全面開(kāi)展表面、體、3D微納加工以及新工藝、新器件、新系統(tǒng)的研發(fā),并根據(jù)“超越摩爾”產(chǎn)品和技術(shù)特點(diǎn)部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁傳感、功率及生物等相關(guān)工藝和量測(cè)設(shè)備。8英寸研發(fā)中試線不僅可承擔(dān)產(chǎn)品研發(fā)、小批量生產(chǎn)、技術(shù)培訓(xùn)、設(shè)備驗(yàn)證等服務(wù),有助于提升研發(fā)的成功率,更將助力實(shí)現(xiàn)“超越摩爾”產(chǎn)品和技術(shù)從研發(fā)到量產(chǎn)的無(wú)縫銜接。以全球領(lǐng)先的8英寸“超越摩爾”研發(fā)中試線為支點(diǎn),工研院將打造集研發(fā)、工程、市場(chǎng)、孵化于一體的功能型平臺(tái),為創(chuàng)新企業(yè)及合作伙伴提供全方位服務(wù)和解決方案。
會(huì)上,由工研院、國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金及其他戰(zhàn)略投資人共同發(fā)起的50億元“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)基金同時(shí)成立。基金將配合工研院在美國(guó)硅谷、法國(guó)格勒諾布爾、我國(guó)臺(tái)灣新竹等地建立的創(chuàng)新網(wǎng)絡(luò),為更多創(chuàng)新企業(yè)提供早期支持,孵化未來(lái)領(lǐng)軍企業(yè)。