2017年10月23日電：中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司（以下簡稱“中微”）日前宣布，中微金屬有機(jī)化合物氣相沉積（MOCVD）設(shè)備Prismo A7™ 反應(yīng)腔交付量突破100臺，這是自去年中微MOCVD設(shè)備Prismo A7™ 第一次推向市場以來的一個重要里程碑。Prismo A7™ 是中微第二代MOCVD設(shè)備，主要用來進(jìn)行氮化鎵LED外延加工以及其他應(yīng)用。每臺Prismo A7™ 設(shè)備可容納多達(dá)4個反應(yīng)腔， 每個反應(yīng)腔的產(chǎn)量是中微第一代MOCVD設(shè)備Prismo D-BLUE®的2倍多。
（圖為中微董事長兼首席執(zhí)行官尹志堯博士在付運(yùn)儀式上致辭）
（圖為中微資深副總裁兼首席運(yùn)營官和MOCVD產(chǎn)品事業(yè)群總經(jīng)理杜志游博士在付運(yùn)儀式上發(fā)表講話）
（圖為中微董事長兼首席執(zhí)行官尹志堯博士在付運(yùn)儀式上致辭）
目前中微的MOCVD設(shè)備已在國內(nèi)領(lǐng)先的生產(chǎn)線上進(jìn)行大規(guī)模量產(chǎn)，它們是全球大部分LED芯片的生產(chǎn)制造商，包括三安光電和華燦光電 。中微自從正式發(fā)布MOCVD 設(shè)備Prismo A7™ 以來，不斷地接到了新的訂單和重復(fù)訂單，銷售勢頭迅猛。預(yù)計截至今年年底，中微將付運(yùn)近 120臺MOCVD反應(yīng)腔。
三安光電副董事長兼總經(jīng)理林科闖稱，中微的MOCVD設(shè)備對三安的LED生產(chǎn)制造做出了很大的貢獻(xiàn)。他指出：“中微的MOCVD設(shè)備具有優(yōu)異的工藝性能、較高的生產(chǎn)效率和較低的運(yùn)營成本，我們和中微一起合作以滿足先進(jìn)技術(shù)的要求。此外，由于中微是一家本土知名的微觀加工高端設(shè)備公司，我們能夠較便利地獲得中微豐富的技術(shù)支持和現(xiàn)場快速響應(yīng)支持。我們很高興和中微合作。”
（圖為中微資深副總裁兼首席運(yùn)營官和MOCVD產(chǎn)品事業(yè)群總經(jīng)理杜志游博士在付運(yùn)儀式上發(fā)表講話）
中微資深副總裁、首席運(yùn)營官兼MOCVD產(chǎn)品事業(yè)群總經(jīng)理杜志游博士說：“我們感到很榮幸，能夠為我們尊貴的客戶提供可靠、可信賴的國產(chǎn)MOCVD設(shè)備，以滿足他們對于MOCVD這一關(guān)鍵設(shè)備的技術(shù)要求。我們致力于通過不斷創(chuàng)新并為其生產(chǎn)線提供新的解決方案來幫助他們優(yōu)化LED性能并降低生產(chǎn)成本。我們非常感謝和他們的業(yè)務(wù)合作。”
Prismo A7™ : 為LED超高產(chǎn)能而設(shè)計
中微MOCVD設(shè)備Prismo A7™ 研發(fā)的重中之重在于幫助客戶優(yōu)化LED性能并降低基于氮化鎵LED的生產(chǎn)成本。中微在設(shè)計機(jī)臺時始終都致力于滿足日益嚴(yán)格的生產(chǎn)要求，緊湊的占地面積是中微機(jī)臺設(shè)計中的一個特色，獨(dú)特的配置使中微的MOCVD設(shè)備可容納多達(dá)4個反應(yīng)腔，同時加工136片4英寸外延晶片，并且每個反應(yīng)腔都可以獨(dú)立控制。
為進(jìn)一步達(dá)到優(yōu)化性能、提高產(chǎn)量并降低生產(chǎn)成本的目標(biāo)，中微在反應(yīng)腔設(shè)計時特別關(guān)注氮化鎵外延的關(guān)鍵工藝要求。這些要求包括：
優(yōu)異的工藝均勻性：中微通過多區(qū)氣體注入系統(tǒng)、具有獨(dú)特設(shè)計的氣體分配注入器和多區(qū)供熱系統(tǒng)，達(dá)到優(yōu)異的均勻性；
較高的設(shè)備可靠性：中微的MOCVD設(shè)備使用了具有獨(dú)立自主知識產(chǎn)權(quán)的業(yè)內(nèi)認(rèn)可的操作軟件，以及成熟的自動化控制系統(tǒng)。在設(shè)計、集成和測試中都遵循且符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)，這些都使得中微的MOCVD設(shè)備具有較高的設(shè)備可靠性；
卓越的工藝重復(fù)性：中微擁有獨(dú)立自主知識產(chǎn)權(quán)的特殊邊緣吹掃設(shè)計，以減少噴淋頭上的顆粒生成，使得中微MOCVD設(shè)備具有卓越的重復(fù)性；
簡便的操作性：中微的MOCVD設(shè)備采用了具有全自動化、可編程的反應(yīng)腔開關(guān)系統(tǒng)，以及為更換MO源鼓泡器而定制化設(shè)計的真空管路，使中微MOCVD設(shè)備在連續(xù)加工過程中不需要開腔清洗或維修。這一優(yōu)勢大大提高了中微MOCVD設(shè)備的利用率。
中微MOCVD設(shè)備Prismo A7™ 已在中國大陸、臺灣、日本、韓國和美國等國家和地區(qū)申請專利155項（包括授權(quán)和未授權(quán)），它們是中微1000多項專利中的重要組成部分。
Prismo A7™ 是中微公司已申請的注冊商標(biāo)。
中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司
中微公司致力于為全球集成電路和LED芯片制造商提供領(lǐng)先的加工設(shè)備和工藝技術(shù)解決方案。中微通過創(chuàng)新驅(qū)動自主研發(fā)的等離子體刻蝕設(shè)備和硅通孔刻蝕設(shè)備已在國際主要芯片制造和封測廠商的生產(chǎn)線上廣泛應(yīng)用于45納米到7納米及更先進(jìn)的加工工藝和最先進(jìn)的封裝工藝。目前，正在亞洲地區(qū)30多條國際領(lǐng)先的生產(chǎn)線上運(yùn)行的中微反應(yīng)臺（包括介質(zhì)刻蝕、TSV和MOCVD）已超過600個。中微開發(fā)的用于LED和功率器件外延片生產(chǎn)的MOCVD設(shè)備也已在客戶生產(chǎn)線投入量產(chǎn)。
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