2017年11月1日-3日，第十四屆中國國際半導(dǎo)體照明論壇（SSLCHINA2017）暨 2017 國際第三代半導(dǎo)體論壇（IFWS 2017）在北京順義隆重召開。論壇由國家半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟、北京市順義區(qū)人民政府主辦，中關(guān)村科技園區(qū)順義園管理委員會、北京半導(dǎo)體照明科技促進中心和北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進中心有限公司承辦。論壇同時得到了科技部、發(fā)改委、國標(biāo)委和北京市科委等主管部門的大力支持。

 

　　11月2日下午，SSLCHINA 2017之材料與裝備技術(shù)分會如期舉行。中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司、北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司、德國愛思強股份有限公司、維易科精密儀器國際貿(mào)易（上海）有限公司為本次分會提供了協(xié)辦支持。

 

　　美國密歇根大學(xué)教授Pei-Cheng KU，挪威科學(xué)技術(shù)大學(xué)教授、挪威科學(xué)技術(shù)院院士Helge WEMAN，北京大學(xué)教授陳志忠、南昌大學(xué)教授劉軍林、中微(上海)有限公司首席技術(shù)員胡建正、北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司第一刻蝕BU副總經(jīng)理劉利堅，德國愛思強股份有限公司副總裁Michael HEUKEN、美國維易科精密儀器有限公司市場營銷總監(jiān)Mark MCKEE等來自中外的強勢力量聯(lián)袂帶來精彩報告。中科院半導(dǎo)體研究所研究員、中科院半導(dǎo)體照明研發(fā)中心副主任王軍喜，河北工業(yè)大學(xué)教授畢文剛共同主持了本次分會。

 

　　作為MOCVD設(shè)備的巨頭之一，美國維易科精密儀器有限公司市場營銷總監(jiān)Mark MCKEE帶來了關(guān)于MOCVD最新市場及技術(shù)進展的報告。智能照明、傳感技術(shù)，電腦顯示器、云計算、激光、太陽能技術(shù)、園藝等應(yīng)用領(lǐng)域的發(fā)展推動著MOCVD技術(shù)不斷向前發(fā)展，同時市場增長表現(xiàn)強勢。其中，微型LED顯示應(yīng)用方面有極大的增長，并且有非常大的潛力，隨著技術(shù)壁壘的突破，會有一個加速的增長，包括手機、電視、智能手表等都會用到微型LED顯示，下一代LED技術(shù)非常讓人期待。

 

　　微型LED顯示的價格和成本需要繼續(xù)下降才能得到更好地應(yīng)用，Mark MCKEE表示，非常希望以最低的成本得到最高的性能表現(xiàn)，一方面要提高效率，在一些關(guān)鍵領(lǐng)域發(fā)力，比如均一性方面需要和所有的供應(yīng)商合作，確保生產(chǎn)出來的微型LED能滿足市場的需求和要求。還需要增加生產(chǎn)線和提高設(shè)備的效率，才能以量產(chǎn)的方式降低價格，推動行業(yè)進一步發(fā)展。

 

　　從MOCVD設(shè)備來看，成本既有資本的上漲、耗材成本、也有人力等成本，未來需要實現(xiàn)自動化，才可以更好地降低成本。同時還要減少生產(chǎn)過程中的損耗和故障率，讓生產(chǎn)的可重復(fù)性大幅度提高。結(jié)合薄膜的量產(chǎn)問題，Mark MCKEE指出，不同領(lǐng)域不同應(yīng)用，對參數(shù)的要求不一樣，指標(biāo)有高有低，會有差別，因此，考慮缺陷等問題時，需要看一下對應(yīng)的應(yīng)用領(lǐng)域，才能進行精準(zhǔn)的確定。

 

　　此外，設(shè)備的均一性非常重要，Mark MCKEE具體分享了當(dāng)前MOCVD生產(chǎn)線技術(shù)方面的改進，并展示了關(guān)于微型LED的新技術(shù)。Mark MCKEE表示，微型LED展現(xiàn)了非常強的增長趨勢，未來5-7年將會逐步占據(jù)市場份額，維易科有量產(chǎn)的解決方案和技術(shù)，也正在研究更加大型的生產(chǎn)線。隨著技術(shù)的不斷成熟改進，會有不同有獨特技術(shù)的公司出現(xiàn)，未來維易科會積極與其他公司合作。

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