最近中科院研發(fā)成功紫外超分辨光刻機的消息刷屏了，使用365nm波長就能實現(xiàn)單次曝光最高線寬分辨力達到22nm，這個技術(shù)水平在光刻機中是很了不起的，做到了SP表面等離子體超衍射光刻機的極致，而且價格只有1000-2000萬元，不過中科院的SP光刻機并不能取代ASML的光刻機，二者的用途并不一樣，晶圓廠制造半導(dǎo)體芯片依然離不開ASML的光刻機。
今天臺積電、三星等公司要心驚一下了，因為ASML光刻機交貨遇到問題了，ASML元件供應(yīng)商Prodrive突遭大火，導(dǎo)致部分生產(chǎn)線及庫存被毀，將影響2019年初ASML光刻機的交付日期，不過今年內(nèi)的ASML光刻機交付不受影響。
據(jù)路透社的消息稱，ASML周一宣布其供應(yīng)商Prodrive上周六遭遇火災(zāi)，摧毀了Prodrive公司部分生產(chǎn)線及庫存，ASML公司正在尋找其他供應(yīng)來源，并幫助Prodrive盡快重啟生產(chǎn)。ASML首席執(zhí)行官兼總裁Peter Wennink在一份聲明中表示：“我們希望Prodrive的管理層和員工在恢復(fù)生產(chǎn)過程中一切順利，并盡可能地為他們提供支持。”
根據(jù)美國調(diào)研機構(gòu)的資料顯示，2017年ASML在全球半導(dǎo)體光刻設(shè)備廠中以85%的市占率穩(wěn)居龍頭，其次是日本廠商尼康（Nikon )的10.3%，以及佳能 ( Canon ) 的4.3%，而ASML已經(jīng)是連續(xù)16年穩(wěn)居市場第一。
供應(yīng)商遭遇火災(zāi)導(dǎo)致產(chǎn)能及庫存受損，這對ASML的光刻機交付也會產(chǎn)生影響，ASML公司表示今年內(nèi)的光刻機交付不會有任何變化，需要幾周時間來評估這次危機對他們業(yè)務(wù)的整體影響。隨后ASML更新的聲明中強調(diào)雖然2018年的光刻機訂單交付沒問題，但是2019年初的ASML光刻機會延期交付，但延期多久上尚無消息。
根據(jù)ASML公司早前財報中的消息，Q3季度ASML出貨了5臺EUV光刻機，上個季度出貨7臺EUV光刻機，預(yù)計Q4季度出貨6臺EUV光刻機，全年出貨的數(shù)量將達到18臺，而2019年EUV光刻機預(yù)計出貨數(shù)量達到30臺。
ASML的EUV光刻機大客戶除了三星、臺積電及英特爾之外，國內(nèi)的中芯國際SMIC今年也訂購了一臺EUV光刻機，預(yù)計會在明年初交付，不過中芯國際訂購的EUV光刻機主要用于技術(shù)研發(fā)，短時間內(nèi)并沒有量產(chǎn)EUV工藝的需求，延期交付對中芯國際的影響并不大。
相比較而言，2019年初延期交付的EUV光刻機對臺積電、三星的影響更大，不過這也取決于ASML受到Prodrive火災(zāi)的影響有多大，目前具體的災(zāi)害損失還沒有結(jié)果。
