2019年11月25-27日,北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司將亮相深圳會展中心召開的第十六屆中國國際半導體照明論壇暨2019國際第三代半導體論壇(SSLCHINA&IFWS2019)。
北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司(簡稱“北方華創(chuàng)微電子”)是北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司(002371.SZ 以下簡稱“北方華創(chuàng)”)的全資子公司,北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司(以下簡稱“北方華創(chuàng)”)是由北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司(簡稱“七星電子”)戰(zhàn)略重組而成,是目前中國僅此一家高端集成電路裝備產業(yè)A股上市公司。
北方微電子成立于2001年10月,是由北京電控集團聯(lián)合七星集團、清華大學、北京大學、中科院微電子所和中科院光電技術研究所共同出資,由國內半導體高端管理技術人才和海外專家為核心團隊創(chuàng)建的專注于高端集成電路裝備業(yè)務的高技術公司。公司以生產銷售高端集成電路裝備為主業(yè),重點發(fā)展刻蝕設備(Etch)、物理氣相沉積設備(PVD)和化學氣相沉積設備(CVD)三大類設備,廣泛應用于集成電路制造、先進封裝、半導體照明(LED)、微機電系統(tǒng)(MEMS)等領域。北方微電子自成立以來先后得到了國家科技部“十五”863集成電路制造裝備重大項目及國家02科技重大專項的研發(fā)與產業(yè)化項目的科研資助。通過十余年的努力耕耘,已經(jīng)發(fā)展成為中國大陸具有較強競爭力的高端微電子工藝裝備制造企業(yè),具有深厚的市場基礎和良好的客戶口碑。
重組后的北方華創(chuàng)微電子產品涵蓋:等離子刻蝕(Etch)、物理氣相沉積(PVD)、化學氣相沉積(CVD)、氧化/擴散、清洗、退火等半導體工藝裝備;平板顯示制造裝備和氣體質量流量控制器等核心零部件。涉及集成電路、先進封裝、LED、MEMS、電力電子、平板顯示、光伏電池等半導體相關領域,產品行銷全國各地及東南亞、歐美,是國內覆蓋領域廣泛、產品種類眾多、建設規(guī)模較大、綜合實力強勁的半導體裝備旗艦平臺。
在集成電路領域,由公司自主研發(fā)的14nm等離子硅刻蝕機、單片退火系統(tǒng)、LPCVD已成功進入集成電路主流代工廠;28nm Hardmask PVD、Al-Pad PVD設備已率先進入國際供應鏈體系;12英寸清洗機累計流片量已突破60萬片大關;深硅刻蝕設備也于去年一舉告捷東南亞市場。這些豐碩的市場成果,標志著中國裝備企業(yè)已經(jīng)實現(xiàn)了集成電路裝備制造技術的里程碑式跨越。
在先進封裝領域,北方華創(chuàng)微電子開發(fā)的刻蝕機和PVD設備已在全球主要先進封裝企業(yè)中得到了廣泛應用。公司的先進封裝PVD機臺性能優(yōu)越,在全球CIS封裝企業(yè)中名列前茅;所開發(fā)的TSV刻蝕設備在大陸地區(qū)最近幾年的新增市場中亦實現(xiàn)了較高的市場占有率;同時應用于Bumping制程的Descum設備于2016年一經(jīng)推出便收獲了市場的積極關注……北方華創(chuàng)將始終緊跟市場需求,不斷提供能夠精準符合客戶需求的卓越產品與優(yōu)質服務。
在LED領域,ELEDE系列刻蝕機自2010年面市以來銷售量已經(jīng)超過兩百余臺,其中氮化鎵刻蝕機在2014~2016連續(xù)三年新增市場占有率達到80%以上,出貨量遙遙領先;PSS刻蝕機一直是全球主流PSS廠家的主要機臺,目前為止國內規(guī)模超卓的中圖半導體公司已累計采購該機型近百臺,對市場起到了有力的表率作用;自主開發(fā)的AlN緩沖層濺射設備,更是引領了全球LED行業(yè)技術發(fā)展趨勢,在2016年實現(xiàn) AlN Sputter的全球市場占有率領先,不僅在市場上取得了巨大成功,更是在技術上一舉打破了多年來本土設備商只能處于追隨狀態(tài)的堅冰局面!而同樣面向LED芯片制造的EPEE550系列PECVD自推向市場以來,一直保持著新增市場占有率80%以上的市場業(yè)績,穩(wěn)居市場前沿。
面向目前高速增長的MEMS及新興市場,北方華創(chuàng)微電子的深硅刻蝕設備,已批量銷往多家科研機構及生產線,服務于微納制造、光通信、化合物半導體、功率器件等多個新興領域,客戶安裝量超過百臺以上;應用于薄膜/厚膜硅外延的APCVD系統(tǒng)在2016年更是一舉獲得了硅外延市場認可,斬獲了客戶大批采購訂單。
在光伏制造領域,公司研發(fā)了國內應用于高效光伏電池生產的負壓擴散爐,獲得了市場認可,目前已成為市場主流產品;研發(fā)的晶硅電池線的大部分關鍵生產設備如在線濕法刻蝕機、槽式單晶制絨機、臥式擴散爐、PECVD等設備均已實現(xiàn)了進口替代。
在平板顯示領域,北方華創(chuàng)微電子公司是國內TFT-LCD生產線的骨干設備供應商,多種產品在客戶G5至G10.5各個世代TFT-LCD生產線及OLED生產線上批量應用;CELL段的ODF工藝紫外固化爐UV Cure以及Cutting工藝的Grind Cleaner等設備均在各世代生產線占據(jù)重要份額。
此外,北方華創(chuàng)微電子公司在氣體流量測量和控制方面亦擁有多項關鍵技術優(yōu)勢,氣體質量流量控制器(MFC)產品行銷歐美,在國內市場中始終占領先品牌的行業(yè)地位。
在為半導體領域客戶打造的產品藍圖中,新技術、新產品、新工藝代代更迭、生生不息。正如“北方華創(chuàng)”品牌的英文名稱——“NAURA”所寓意的,“北方華創(chuàng)”的明星產品如浩瀚星辰般在半導體宇宙中璀璨閃耀。
北方華創(chuàng)秉承七星電子和北方微電子多年高科技研發(fā)實力,實現(xiàn)資源整合和優(yōu)勢互補,以科技創(chuàng)新為基點,著眼未來,致力于加快推進北方華創(chuàng)向新型制造業(yè)的戰(zhàn)略轉型;致力于成為國際領先的高端電子工藝裝備和精密電子元器件兩大基礎電子產品服務商;致力于提升人類智能生活品質;致力于實現(xiàn)中國“智造強國”的夢想藍圖。北方華創(chuàng)擁有半導體裝備、真空裝備、新能源鋰電裝備及精密元器件四個業(yè)務模塊,為半導體、新能源、新材料等領域提供解決方案。公司現(xiàn)有四大產業(yè)制造基地,營銷服務體系覆蓋歐、美、亞等全球主要國家和地區(qū)。未來的北方華創(chuàng),將以高端電子工藝裝備及精密電子元器件領先企業(yè)的姿態(tài)登上世界舞臺,深耕發(fā)展,引領未來,堅持以客戶需求為導向的持續(xù)創(chuàng)新,助推產業(yè)技術進步,帶給產業(yè)無限可能。
