Micro LED關(guān)鍵的巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)對(duì)外延技術(shù)的波長(zhǎng)均勻性和缺陷密度提出了更嚴(yán)格的要求，而MOCVD作為外延技術(shù)的核心設(shè)備，也需要不斷創(chuàng)新以滿足Micro LED規(guī)模化量產(chǎn)的需求。

 

據(jù)介紹，愛(ài)思強(qiáng)一直致力于研發(fā)助力Micro LED量產(chǎn)的MOCVD設(shè)備，其AIX G5+C系統(tǒng)結(jié)合UV高溫測(cè)量法，在外延制程中對(duì)薄膜表面溫度進(jìn)行晶圓級(jí)控制（基于自動(dòng)加載技術(shù)），從而精準(zhǔn)控制銦與多量子阱（MQW）的融合，而這個(gè)環(huán)節(jié)最終決定了波長(zhǎng)的均勻性。

 

愛(ài)思強(qiáng)表示，C2C自動(dòng)卡匣晶圓傳輸技術(shù)和爐內(nèi)原位清潔技術(shù)可確保操作過(guò)程或外延制程中無(wú)顆粒污染薄膜，提高產(chǎn)量的同時(shí)保證外延片的顆粒密度。此外，愛(ài)思強(qiáng)MOCVD系統(tǒng)在波長(zhǎng)均勻性保持在4nm范圍內(nèi)的前提下，將缺陷密度低控制在0.10 #/cm2，大幅提高了外延技術(shù)的良率。
 

2020年，由于Micro LED等高端市場(chǎng)需求不斷增長(zhǎng)，愛(ài)思強(qiáng)全年業(yè)績(jī)符合預(yù)期，實(shí)現(xiàn)營(yíng)收2.69億元，同比微增4%；毛利為1.08億元，同比大致持平；自由現(xiàn)金流為1400萬(wàn)歐元，同比下降60%。

 

全年新增訂單3.014億歐元，同比增長(zhǎng)30%，其中，第四季度表現(xiàn)尤為突出，新增訂單金額達(dá)9220萬(wàn)歐元，環(huán)比增長(zhǎng)30%，創(chuàng)下2011年以來(lái)單季新高記錄。

 

從區(qū)域來(lái)看MOCVD的銷售額，亞洲地區(qū)占比達(dá)73%，同比增長(zhǎng)了5%；歐洲和美洲地區(qū)的銷售額占比分別為15%和12%，而去年同期占比均為16%。

 

展望2021財(cái)年，愛(ài)思強(qiáng)預(yù)計(jì)新增訂單、營(yíng)收和收益都將顯著增長(zhǎng)，新增訂單總額預(yù)估為3.4-3.8億歐元；毛利率預(yù)計(jì)約為40%。

 

據(jù)了解，近兩年來(lái)，錼創(chuàng)和康佳先后采購(gòu)了愛(ài)思強(qiáng)的AIX G5+C等設(shè)備，用于加速M(fèi)icro LED的開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)工作，目前愛(ài)思強(qiáng)的訂單量呈現(xiàn)不斷增長(zhǎng)的趨勢(shì)。