愛思強表示，市場對RGB自發(fā)光Micro LED的需求開始強勢增長，為此，華燦光電將使用愛思強的行星式反應器平臺來滿足新興市場對Micro LED顯示屏的需求。

 

　　本次華燦光電訂購的 AIX 2800G4-TM (IC2) 和 AIX G5+ C 型號MOCVD設備都將采用8×6英寸的配置，設備已于2021年第四季度發(fā)貨。

 

　　愛思強指出，華燦光電所處的Micro LED技術領域是一個強大的新興市場，也是顯示行業(yè)的游戲規(guī)則改變者。與現(xiàn)有顯示技術相比，Micro LED技術可實現(xiàn)無與倫比的像素分辨率、卓越的顯示質量和更高的電流效率。為了實現(xiàn)這些優(yōu)勢，下一代LED顯示屏需要將數(shù)百萬微米級的LED轉移到一個顯示屏上，這使得新型轉移技術的開發(fā)迫在眉睫。

 

　　愛思強一直致力于研發(fā)助力Micro LED量產的MOCVD設備。其指出，MOCVD作為外延技術的核心設備，也需要不斷創(chuàng)新以滿足Micro LED規(guī)模化量產的需求，具體來說，所有外延片必須具有非常緊密的波長分布和極低的表面缺陷水平。

 

　　而愛思強的行星式反應器平臺在外延過程中可對薄膜表面溫度進行晶圓級控制，精準控制銦與多量子阱（MQW）的融合，幫助實現(xiàn)更好的波長均勻性。同時，C2C自動卡匣晶圓傳輸技術與原位清潔技術相結合，可確保在處理過程或外延制處理過程中沒有顆粒污染薄膜。

 

　　對于此次合作，華燦光電首席執(zhí)行官周建會博士表示：“在過去的 15 年里，愛思強一直是我們值得信賴的MOCVD解決方案合作伙伴。我們很高興現(xiàn)在加強了與愛思強在Micro LED產品領域的合作。愛思強的行星式反應器平臺已被證明具有最佳的均勻性和低顆粒性能，相信這是Micro LED商業(yè)化關鍵的一步，有助于鞏固華燦光電在顯示市場的領先地位。”

 

　　愛思強首席執(zhí)行官兼總裁Felix Grawert博士則表示：“我們很高興華燦光電作為Micro LED市場的主要參與者，選擇了我們的AIX G5+ C和AIX2800G4-TM系統(tǒng)來進一步開發(fā)Micro LED生產工藝。我們期待Micro LED顯示產品的加速推出。”