新型顯示行業(yè)近幾年發(fā)展迅速，投入規(guī)模大。在LCD、OLED之后，Mini-LED是最受市場(chǎng)關(guān)注的技術(shù)，應(yīng)用范圍也得到不斷拓展。Micro-LED因其超高發(fā)光效率極佳的顯示效果而被認(rèn)為是極具潛力的下一代顯示技術(shù)，但由于技術(shù)難點(diǎn)較多，距離量產(chǎn)落地仍需較長(zhǎng)時(shí)間。在Micro-LED技術(shù)開發(fā)空窗期，Mini-LED作為折中技術(shù)率先推出，有望在背光端和直顯端重塑產(chǎn)業(yè)格局。數(shù)據(jù)顯示，預(yù)計(jì)2026年中國(guó)Mini LED行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模有望突破400億元，2020年-2026年復(fù)合年均增長(zhǎng)率將達(dá)50%。

 

　　不論是Mini/Micro-LED還是OLED，技術(shù)都需要更嚴(yán)格的設(shè)計(jì)和生產(chǎn)參數(shù)。對(duì)于主流顯示技術(shù)而言，加工工藝控制（例如：測(cè)量）和失效分析（FA）是提高良率和質(zhì)量的關(guān)鍵。有分析指出，最新的顯示屏結(jié)構(gòu)需要對(duì)背板和發(fā)光單元的關(guān)鍵尺寸（橫向和縱向）進(jìn)行精確控制。而這就需要高度精準(zhǔn)的測(cè)量。由于顆粒、污染或工藝偏差造成的缺陷會(huì)嚴(yán)重影響良率和質(zhì)量，因此在產(chǎn)品生命周期的早期階段，越來越詳細(xì)的失效分析是必不可少的。

 

　　據(jù)了解，在半導(dǎo)體器件的研發(fā)、測(cè)量和失效分析方面，賽默飛世爾科技提供一套獨(dú)特而全面的工作流程，來滿足顯示設(shè)備制造商的需求。其測(cè)量解決方案提供卓越的可復(fù)現(xiàn)性和高質(zhì)量的納米級(jí)分析能力。對(duì)于缺陷的隔離和分析，賽默飛的掃描電子顯微鏡（SEM）、聚焦離子束掃描電鏡（FIB-SEM）和透射電子顯微鏡（TEM）的解決方案可提供自動(dòng)化、高精度的樣品制備和行業(yè)領(lǐng)先的成像技術(shù)。

 

　　為了更好的支持企業(yè)技術(shù)，近期半導(dǎo)體照明網(wǎng)、極智課堂將聯(lián)合電鏡領(lǐng)域國(guó)際代表性企業(yè)賽默飛世爾科技中國(guó)的專家，來一場(chǎng)與電鏡技術(shù)相關(guān)的線上面對(duì)面對(duì)的探討交流，敬請(qǐng)關(guān)注！

　　演講主題：“更快，更深，更全”--高效率雙束電鏡在半導(dǎo)體量產(chǎn)工業(yè)領(lǐng)域的應(yīng)用

 

　　主講嘉賓：蔡琳玲 （賽默飛世爾科技PFA業(yè)務(wù)拓展經(jīng)理）

 

　　課程簡(jiǎn)介：雙束電鏡是半導(dǎo)體工業(yè)領(lǐng)域過程控制以及失效分析的重要手段，它可以實(shí)現(xiàn)定點(diǎn)位置的快速加工和高分辨SEM成像，而Xe+離子FIB(PFIB)技術(shù)有別于傳統(tǒng)的Ga+離子，具有更高的束流，可實(shí)現(xiàn)高通量的切割和表征，將數(shù)據(jù)處理時(shí)間縮短至數(shù)小時(shí)而不是以往所需的數(shù)天或數(shù)周，同時(shí)對(duì)于第三代半導(dǎo)體，Xe+離子加工技術(shù)還可有效避免Ga+污染。此報(bào)告將從FIB-SEM的基本原理和前沿技術(shù)出發(fā)，重點(diǎn)介紹Helios 5 PFIB在芯片封裝、第三代半導(dǎo)體、顯示面板等領(lǐng)域的應(yīng)用優(yōu)勢(shì)。

 

　　嘉賓簡(jiǎn)介：蔡琳玲在賽默飛世爾科技擔(dān)任PFA商務(wù)拓展經(jīng)理，有著10多年電鏡技術(shù)支持的從業(yè)經(jīng)驗(yàn)，具有堅(jiān)實(shí)的顯微鏡理論基礎(chǔ)以及豐富的實(shí)際應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)，對(duì)于電鏡產(chǎn)品如何助力于邏輯、存儲(chǔ)、化合物半導(dǎo)體、封裝以及面板類產(chǎn)品的研發(fā)以及良率提升有著持續(xù)和深入的研究，對(duì)于半導(dǎo)體工業(yè)各類樣品的的失效分析方法都非常熟悉?；谒S富的應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)，她可以為不同行業(yè)的客戶提供相適應(yīng)的EFA到PFA的失效解決方案。

 

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　　關(guān)于賽默飛世爾科技：賽默飛世爾科技在全球商業(yè)擁有巨大的影響力，其進(jìn)入中國(guó)發(fā)展已近40年，其在中國(guó)的總部設(shè)于上海，并在北京、廣州、香港、成都、沈陽、西安、南京、武漢、濟(jì)南等地設(shè)有分公司，產(chǎn)品主要包括分析儀器、實(shí)驗(yàn)室設(shè)備、試劑、耗材和軟件等，提供實(shí)驗(yàn)室綜合解決方案，為各行各業(yè)的客戶服務(wù)。

 

　　對(duì)于半導(dǎo)體制造商和電子行業(yè)，其將電氣分析解決方案與 SEM、TEM、S/TEM、DualBeam FIB/SEM 以及高級(jí)軟件套件結(jié)合起來， 以最高的成功率和生產(chǎn)率提供根本原因分析。其業(yè)界領(lǐng)先的工作流程可以為加速IC設(shè)計(jì)和生產(chǎn)決策提供快速、準(zhǔn)確的解決方案。故障隔離和分析產(chǎn)品提供一流的圖像、豐富的功能集、橫斷面計(jì)量和自動(dòng)化，以加快工藝缺陷識(shí)別、減少產(chǎn)量損失和縮短新產(chǎn)品上市時(shí)間。

 

　　賽默飛世爾科技為電子顯微鏡和微觀分析提供創(chuàng)新的解決方案，通過將高分辨率成像與各種規(guī)模和模式的物理、元素、化學(xué)和電氣分析相結(jié)合，通過最廣泛的樣本類型，讓客戶完成從問題到獲得可用數(shù)據(jù)的過程。