近日,由浪潮華光主持制定的國家標(biāo)準(zhǔn)《LED外延芯片用砷化鎵襯底》經(jīng)由國家市場監(jiān)督管理總局(國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會)正式發(fā)布,為LED外延芯片用砷化鎵單晶襯底的生產(chǎn)、檢測及質(zhì)量評價提供了標(biāo)準(zhǔn)支撐。
《LED外延芯片用砷化鎵襯底》作為半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)性技術(shù)規(guī)范,規(guī)范了LED產(chǎn)業(yè)鏈上游關(guān)鍵襯底材料的技術(shù)要求和檢測方法,包含晶體質(zhì)量、電學(xué)性能、表面形貌等關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo),為砷化鎵襯底材料的制造、采購及質(zhì)量檢測提供統(tǒng)一依據(jù)。該標(biāo)準(zhǔn)主要服務(wù)于半導(dǎo)體襯底材料生產(chǎn)企業(yè)質(zhì)量控制、LED外延芯片制造企業(yè)來料檢驗、第三方檢測機構(gòu)認(rèn)證依據(jù)以及行業(yè)主管部門質(zhì)量監(jiān)督,標(biāo)準(zhǔn)實施后,將極大促進(jìn)我國LED產(chǎn)業(yè)上游材料的標(biāo)準(zhǔn)化進(jìn)程,為國產(chǎn)砷化鎵襯底參與國際市場競爭提供強有力的技術(shù)支撐。