加壓燒結(jié)銀AS9385工藝流程：

1 清潔粘結(jié)界面

2 界面表面能太低，建議增加界面表面能

3 粘結(jié)尺寸過(guò)大時(shí)，建議一個(gè)界面開(kāi)導(dǎo)氣槽

4 一個(gè)界面涂布燒結(jié)銀時(shí)，涂布的要均勻

5 另外一個(gè)界面放燒結(jié)銀上時(shí)，建議加一點(diǎn)壓力到上界面壓一下

6 預(yù)烘階段：150度20-30分鐘，界面是銅的基底建議氮?dú)獗Ｗo(hù)（金或者銀除外）

7 預(yù)壓階段：150度加壓0.5-1MPa，時(shí)間為：1-3秒；

8 本壓階段：220-280度加壓10-30MPa，時(shí)間2-6分鐘；

9 燒結(jié)結(jié)束時(shí)，建議在烘箱中逐步降溫到室溫再把器件拿出。