2016年3月17日上午,日本DISCO集團(tuán)會(huì)長溝呂木斉等一行訪問清華大學(xué)。清華大學(xué)副校長薛其坤在微電子所與溝呂木斉進(jìn)行了會(huì)談。
會(huì)見中,溝呂木斉介紹了DISCO集團(tuán)的基本情況以及與清華大學(xué)及微電子所的合作關(guān)系,薛其坤代表清華大學(xué)對(duì)DISCO集團(tuán)對(duì)學(xué)校的支持表示感謝,雙方還就互相感興趣的問題進(jìn)行了深入交流,雙方均表示愿意積極推進(jìn)進(jìn)一步的合作,加深長期友好關(guān)系。此外,清華大學(xué)微電子所相關(guān)負(fù)責(zé)人也一同參加了此次會(huì)見。
隨后,薛其坤和溝呂木斉共同參加了在清華大學(xué)微電子所舉行的DISCO設(shè)備捐贈(zèng)儀式。
訪問期間,溝呂木斉介紹了DISCO企業(yè)經(jīng)營理念,并與清華大學(xué)微電子所教授進(jìn)行了交流。并且,DISCO在清華大學(xué)舉辦了首次公開課,介紹半導(dǎo)體的切割及減薄技術(shù)。

(從左到右分別為:清華大學(xué)微電子所副所長吳華強(qiáng),DISCO集團(tuán)全球技術(shù)解決方案部經(jīng)理杉谷哲一,DISCO集團(tuán)執(zhí)行董事、亞洲營業(yè)本部長則本隆司,DISCO集團(tuán)會(huì)長溝呂木斉,清華大學(xué)副校長薛其坤,清華大學(xué)微電子所所長魏少軍,清華大學(xué)微電子所黨委副書記蔡堅(jiān),DISCO中國副總經(jīng)理周雅萍)
日本DISCO集團(tuán)是國際知名的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商。成立于1937年,主營業(yè)務(wù)是半導(dǎo)體精密研削切割設(shè)備的制造與銷售。DISCO公司的劃片機(jī)、研磨機(jī)、拋光機(jī)等設(shè)備在全球都占有很高的市場份額。
資料顯示,2015年,DISCO向清華大學(xué)微電子所捐贈(zèng)了一套劃片機(jī)與水處理設(shè)備,用于完善和提升清華大學(xué)微納加工平臺(tái)的微納加工能力,促進(jìn)清華大學(xué)微納電子學(xué)科及相關(guān)交叉學(xué)科的發(fā)展。該套設(shè)備于2015年9月在清華大學(xué)微納加工平臺(tái)安裝調(diào)試成功并投入使用,已服務(wù)于清華大學(xué)精儀系、機(jī)械系、材料系、微納電子系以及清華同方等相關(guān)單位。