2017年8月1日，全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體行業(yè)沉積設(shè)備供應(yīng)商AIXTRON愛思強股份有限公司（法蘭克福證券交易所：AIXA）今日宣布，AIXTRON愛思強近耦合噴淋頭(CCS)全新的工藝腔室已通過全球領(lǐng)先的中國光電制造商三安光電的成功驗證。該工藝腔室經(jīng)過全新的設(shè)計，用于生產(chǎn)深紫外光LED。

 

　　基于AIXTRON愛思強久經(jīng)驗證的近耦合噴淋頭技術(shù)，此全新的工藝腔室是首個提供極高制程溫度，以滿足深紫外光LED生產(chǎn)的商用金屬有機化學(xué)氣相沉積(MOCVD)反應(yīng)器。腔室的性能提高后，將促進深紫外光LED的大批量、低成本生產(chǎn)，可用于水凈化和空氣凈化等應(yīng)用。19x2英寸的配置意味著此腔體是目前深紫外高端MOCVD市場的最大腔體配置。

 

　　三安光電技術(shù)中心副總卓昌正博士表示：“AIXTRON愛思強近耦合噴淋頭反應(yīng)器全新的設(shè)計是推動三安光電生產(chǎn)新一代深紫外光LED產(chǎn)品的關(guān)鍵因素，有助于提高量子效率和極大提高輸出功率。業(yè)已成為最大的LED供應(yīng)商之一，AIXTRON愛思強全新設(shè)計的工藝腔室為我們實現(xiàn)在深紫外光LED領(lǐng)域的戰(zhàn)略目標(biāo)提供全力支持，進一步增強我們的行業(yè)領(lǐng)導(dǎo)力。因此，我們非常高興能夠成為首家驗證并使用AIXTRON愛思強全新反應(yīng)器設(shè)備套件的公司。”